スパッタコーティングシステムにおいて衝撃に敏感な板を固定及び輸送する方法及び装置

专利摘要:
ウルトラクリーンルームにおいて、大きくて薄いガラス板の搬送を確実に行う。本発明は、大きくて薄いガラス板をスパッタシステムに供給するため、ウルトラクリーンルームにおいて該ガラス板を固定する装置及び方法に関する。本発明に係る装置は、ａ）輸送フレーム（１９）を上記装置の水平方向中央に配置させるセンタリングユニットへ輸送フレーム（１９）を搬送し、更に、その輸送フレーム（１９）をセンタリングユニットからスパッタシステムへと搬送するよう設計されたローラドライブ（１２）と、ｂ）磁性レールマウント（２）中で輸送フレーム（１９）を持ち上げる及び下降させるフレームリフト装置（７）と、ｃ）輸送フレーム（１９）を固定及び解放する固定ユニット（５、８）、及びガラス板（１８）を受け入れるフレームクリップ（１７）を開閉する開放ヘッド（３）と、ｄ）ガラス板（１８）を持ち上げて旋回させ、垂直配置とし、そのガラス板（１８）を輸送フレーム（１９）に設置するリフトユニットと、を備える。
公开号:JP2011515860A
申请号:JP2011501099
申请日:2009-03-18
公开日:2011-05-19
发明作者:フランツ，ローラント
申请人:グレンツェバッハ・マシーネンバウ・ゲーエムベーハーＧｒｅｎｚｅｂａｃｈ Ｍａｓｃｈｉｎｅｎｂａｕ ＧｍｂＨ；
IPC主号:H01L21-677

专利说明:

[0001] 本発明は、ガラス板をスパッタシステムに供給するため、ウルトラクリーンルームにおいてガラス板を固定する方法及び装置に関する。]
背景技術

[0002] 日用必需品に付随する技術装置の多くは、それらの生産過程においてスパッタコーティングを必要とする。このようなスパッタコーティング層は、コンピュータのハードディスク、ＣＤ記憶媒体及びＬＣＤフラットスクリーン、スパッタベアリング、最近の耐熱保護ガラス、鏡、ハロゲンエミッタ、又は自動車前照灯に見出すことができる。すべてのこれらの有用物は、スパッタリング手法を利用したコーティングなしでは実現することができない。]
[0003] 「スパッタする」、「スパッタリング」という英語表現は、陰極スパッタリング過程を表す。この場合、典型的には５００ボルトの電圧が印加された陰極（いわゆるターゲット）にアルゴンイオンが衝突する。イオンが衝突すると、原子が陰極から放出されて周囲に凝結し、これが層成長へとつながる。スパッタコーティングの重要な構成は、いわゆるマグネトロン（集積磁気システムを備えた陰極）と真空チャンバ（レシーバチャンバ）である。]
[0004] 多くの場合において、コートされる材料は大きなガラス板である。]
[0005] また、そのような衝撃に敏感な板の生産及び更なる加工は、比較的大型のフラットスクリーンの生産に大量に必要とされる。時代の流れとして、近代的なフラットスクリーンは、古いブラウン管モニタを次第に置換していっており、また、益々安価になってきている。]
[0006] 近代的なフラットスクリーンは、ＴＦＴ／ＬＣＤ技術に基づいている。ここで、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）とは、スクリーンの個々の画素に液晶を使用したものを示し、ＴＦＴとは「薄膜トランジスタ」を意味する。ＴＦＴは、液晶の配向を制御して、その結果、液晶の光透過性を調節する、非常に小さいトランジスタ素子である。]
[0007] フラットスクリーンディスプレイは、膨大な数の画素から構成される。それぞれの画素は、赤色、緑色、そして青色に対応する３つのＬＣＤセル（サブピクセル）が順次並んだものから成る。１５インチスクリーン（対角線で計測）は、略８０万のピクセル又は略２４０万のＬＣＤセルから構成される。]
[0008] 動作様式の理解に関して、液晶セル（ＬＣＤセル）は、ポラロイドサングラスと同様の様式により作用する。２つのポラロイドガラスを重ねて置き、一方に対して他方を回転させていくと、最初はポラロイドガラスの向こう側を見ることができるが、だんだんと見えなくなり、最後には何も見えなくなる。この効果は、ポラロイドガラスが特定の面で振動している光波に対してのみ透過性であるため生じる。仮に２つのポラロイドガラスを重ねて配置し、一方に対して他方を９０度回転させると、特定の光は、第１のガラスを通過することができる。しかし、第２のガラスは、第１のガラスを通過した光に対して横向きになっており、その光をフィルタアウトするため、その光は第２のガラスを通過しない。]
[0009] ＬＣＤセルも同じ原理で働く。ＬＣＤセルは、一方に対して他方が９０度回転され、その結果、上記説明と同じく、光が通過できないようになった２つのポラロイドガラスから構成される。光の振動面を回転させる自然特性を持つ液晶層が、これら２つのポラロイドガラスの間に配置される。この液晶層は、第１のポラロイドガラスを通過した光を９０度逆回転させ、その結果、その光が第２のポラロイドガラスも通過できるようにする、すなわち、観察者にとって光を可視とするのに適度な厚さを有する。]
[0010] 液晶分子が電圧印加によりその自然位置から回転されると、より少ない光がセルを通過し、対応する画素は暗くなる。対応する電圧は、各ＬＣＤセルの一部を構成するＴＦＴ素子により生み出される。ＬＣＤディスプレイへの光は、照明空間で大規模に用いられているように、小さな蛍光管によりスクリーン筺体の後方部で生み出される。]
[0011] 各々の画素が赤色、緑色、そして青色という３色のフィルタを持つため、これらのフィルタの透過率を調節することにより、それぞれの画素は、目的の色の混合色又は目的の色を呈することができる。]
[0012] 標準的なオフィスで利用できるように、フラットスクリーンは、傑出した鮮明さと十分な色品質とを有する。また、人間工学的な観点から見ても、ＴＦＴは、より小さな空間必要性、ブラウン管モニタのほんの３分の１の電力消費、そして顕著に低い放射線放射といった多くの利点を有する。]
[0013] ミクロ電子工学では一般的であるように、ＴＦＴスクリーンの生産には、いわゆるウルトラクリーンルームが必要とされる。これが必要とされるのは、微小な配線を有する構造物にとっては、その生産過程においてほんの小さな粒子でさえ配線を遮断する虞があるためである。ＴＦＴスクリーンの生産の場合、そのような配線遮断は、画素の欠陥を引き起こし得る。従って、そのようなスクリーンの生産には、ウルトラクリーンルーム環境が必要とされる。]
[0014] クリーンルーム又はウルトラクリーンルームは、飛散粒子の濃度が調節された空間である。このような空間は、その空間に導入される、又はその空間内で生み出される及び蓄積される粒子の数が可能な限り少なくなるように建設及び利用され、温度、湿度、又は気圧といった他のパラメータは、必要に応じて制御される。]
[0015] 現在、ＴＦＴスクリーンが益々安価になる一方で、巨大スクリーンに対する需要は次第に顕在化してきており、このタイプのスクリーンは、第１に、大きなイベントで非常に簡便に用いることができるようになり、第２に、最新の生産技術により手頃な価格帯で入手できる。]
[0016] しかしながら、大きなスクリーンの生産は、その大きな表面領域を覆う薄いガラス板を取り扱う必要があるため、ウルトラクリーンルーム中においてさえ特殊な機器を必要とする。]
[0017] 先行技術として、独国特許公報１９９０５８８２Ｃ１の請求項１のプリアンブル部は、異なるクリーンルームクラスに属し、異なる気圧が使用され得る第１クリーンルームと第２クリーンルームとの間で、特にウエハやウエハ保持体といった物品を輸送するための装置を開示している。]
[0018] この装置は、装置のコントロールソフトウェアの必要性を低減した輸送装置を提供するという課題に取り組んだものであり、輸送時間の短縮とともに、処理ステーションから及び処理ステーションへ物品が確実に輸送されることを可能とする。前記課題は、以下の構成により解決される。すなわち、
−第１クリーンルームの天井に設けられた開口部と第２クリーンルームの床部とを貫通する垂直コンベヤと、第１終着点が第１クリーンルーム内にあり、第２終着点が第２クリーンルーム内にある垂直可動式コンベヤ体。
−垂直コンベヤの横断面を塞ぎ、２つのロックドアを備えるロックユニット。ここで、２つのロックドアは、コンベヤが伸びる方向に間隔を置いて配置され、それらの間に位置するロックチャンバの範囲を定める。
−個々の物品を、第２クリーンルーム中に位置する輸送系から第２終着点に位置するコンベヤ体へと受け渡し、更には反対方向にも受け渡す、及び／又は、第１終着点に位置するコンベヤ体から第１クリーンルーム中に位置する処理ステーションへと受け渡し、更には反対方向にも受け渡す、少なくとも一つの受け渡しユニット。ここで、コンベヤ体の一つの終着点は、ロックチャンバ内に配置される。]
[0019] ウエハの輸送はクリーンルーム環境下で行われるが、ここでは大きなガラス板の輸送は明らかに一番の重要性をもつものではない。]
[0020] しかしながら、大きなスクリーンの生産は、その大きな表面領域を覆う薄いガラス板を取り扱う必要があるため、ウルトラクリーンルーム中においてさえ特殊な機器の使用を必要とする。]
[0021] この目的のため、まず、多軸産業ロボットを使用することが可能である。]
[0022] 多種にわたる製品を生み出す技術における多軸産業ロボットの種々の実施形態使用例は、先行技術から得ることができる。このタイプの産業ロボットは、大きなホールにおいては、たいてい扱い難く、重い積荷を輸送するために利用されるが、より小さな機械部品の生産にも有益に用いることができる。肝心なことは、すべての場合において、個々の捕捉操作、輸送動作、そして設置操作から成る連続動作に再現性のある正確さがあるか否かである。]
[0023] ここで、これらの連続動作が起こる状況は、多くの場合重要ではない。例えば、そのような連続動作がどのような騒音を発しようと、又は、そのような操作が粉塵移動若しくは多かれ少なかれ滑剤の漏れを伴っていようが、たいてい重要ではない。また、摩擦を生む動きのある機械部の不可避な摩耗は、多くの場合重要ではない。]
[0024] 対照的に、例えば、食品加工産業、製薬産業、又はウルトラクリーンルームにおける半導体の生産といった汚染の危険のある環境下で作業をする場合には、この種の自然な悪影響を考慮に入れなければならない。]
[0025] そのため、先行技術として、欧州特許公報１５４１２９６Ａ１は、汚染の危険がある環境で使用され、マニピュレータのドライブユニット領域に、スカベンジング媒体を満たすことができる多数のスカベンジングチャンバを備えた産業ロボットのようなマニピュレータを開示している。そのような装置の場合、解決されるべき課題は、構造的に単純な様式で、すなわち、具体的に言うと低コストで、汚染の危険のある環境でマニピュレータを安全に使用することができる段階まで、更に装置を改良することである。]
[0026] この課題は、ドライブユニットの複数のグループそれぞれに付随して設けられる専用スカベンジングチャンバにより解決される（請求項１）。]
[0027] そのような産業ロボットが使用を意図される環境は、汚染に対してより敏感であり、その結果、通常環境と比較して設計形態にもより高い要求を課すが、この種の特別な要求は、ウルトラクリーンルームに要求される条件と比較することはできない。]
[0028] 上述とは別に、大きなＴＦＴスクリーンを生産する際にも用いられるような大きくて薄いガラス板は、それらの結晶性構造及び比較的大きな質量に起因して、非常に小さな衝撃に極めて敏感である。そのため、敏感さを欠き、そしてある場合には位置正確性を欠き得る産業ロボットは、ウルトラクリーンルームにおける大きくて薄いガラス板の扱いに適していない。]
[0029] ウルトラクリーンルーム環境下では、大きくて衝撃に敏感なガラス板を水平方向にコンベヤで運んだり、それを回転させたりする際には、特に配慮及び注意が必要とされる。]
[0030] ウルトラクリーンルーム環境をメンテナンスする、特に、コストがかかる製品を生産する際に考慮すべき更なる一面は、人間による汚染の危険である。ここでは、意図しないくしゃみが、生産ユニット全体を破壊し得る。同様に、供給される製品も含め、あらゆる欠陥は多大な出費を課すため、そのようなシステムは高い信頼性を必要とする。]
[0031] 独国特許公報４１３９５４９１Ａ１は、真空処理システムの中及び真空処理システムを通って板型基板を輸送する装置を開示している。ここで、この装置は、複数のステーションを含み、ほぼ板型形状の基板ホルダがステーションを通る予め決められた経路に沿って垂直配置で移動され得る。]
[0032] また、米国特許公報５９０９９９５Ａは、マウントにより真空システムを通って基板を輸送する装置を開示している。]
[0033] これら両文献は本質的に、輸送フレームへ置かれ、ローラドライブにより磁気でガイドされる様式によって搬送される基板のためのローラドライブの特定形態について教示している。]
[0034] 独国特許公報４１３６３４２Ａ１は、輸送フレームに板型基板を固定する種々のクランプ装置を教示している。そのクランプ装置は、自動配置に適している。]
[0035] 独国特許公報４３３９８１３Ａ１は、水平ベアリングテーブルから垂直サポートラックへと板型基板を移動する方法及び装置を教示している。]
発明が解決しようとする課題

[0036] ウルトラクリーンルーム環境下におけるスパッタリング過程での大きくて薄いガラス板の処理に関しては、引用された先行技術から何ら推察できない。]
[0037] そこで、本発明に係る装置及び方法は、ウルトラクリーンルーム環境下での大きくて薄いガラス板のスパッタリング過程において、生産現場の外側に居る人間により制御及び監視されるが、人間の介在なしに起こり得る生産工程又は特定の生産工程へのガラス板の搬送を確実なものにするという課題に取り組む。]
[0038] 相当する装置は、信頼性の高いものであって、かつその生産に大きなコストがかからないものでなければならない。]
課題を解決するための手段

[0039] 本発明は、衝撃に敏感なガラス板（１８）をスパッタシステムに供給するため、ウルトラクリーンルームにおいて前記ガラス板（１８）を固定及び輸送する装置であって、ａ）第１に、個々の前記ガラス板（１８）に適合する垂直に置かれた輸送フレーム（１９）のランナ（２１）を、前記輸送フレーム（１９）の上側が磁性レールマウント（２）でガイドされることにより、前記輸送フレーム（１９）を水平方向の中央に配置させるセンタリングユニットへ搬送するために用いられ、第２に、前記ガラス板（１８）が固定された前記輸送フレーム（１９）をスパッタシステムへ搬送するために用いられる、ローラドライブ（１２）と、ｂ）前記輸送フレーム（１９）を前記磁性レールマウント（２）に持ち上げる及び下降させるために用いられるフレームリフトユニット（７）と、ｃ）前記輸送フレーム（１９）を固定及び解放するために用いられる固定ユニット（５、８）と、前記輸送フレーム（１９）の長手方向側面及び上面領域に設けられ、前記ガラス板（１８）を受け取るためにフレームクリップ（１７）を開閉する開放ヘッド（３）と、ｄ）個々の前記ガラス板（１８）をコーティングするために、前記ガラス板（１８）を持ち上げて旋回させる移送装置と、を備え、前記ガラス板（１８）は、輸送装置により水平配置で供給され、前記移送装置は、前記ガラス板（１８）を垂直配置とした後、該ガラス板（１８）を前記輸送フレーム（１９）に設置することを特徴とする。]
[0040] 上記装置において、前記輸送フレーム（１９）は、アルミニウム合金から構成され、前記輸送フレーム（１９）の上方領域に取り付けられるガイドは、鉄合金から構成されることが好ましい。]
[0041] 上記装置において、前記固定ユニット（５、８）は、それぞれカウンタシリンダ（５）及び圧力シリンダ（８）を備え、前記カウンタシリンダ（５）及び前記圧力シリンダ（８）は、各々吸気抜き取り手段を持ち得ることが好ましい。]
[0042] 上記装置において、前記磁性レールマウント（２）は、互いに逆向きに配置された２つの直線状の磁性体から構成され、前記輸送フレーム（１９）の上端が、それらの磁性体の間に両方の磁性体から反発された形で配置されることが好ましい。]
[0043] 上記装置において、前記センタリングユニットは、スロットにガイドされたセンタリングマンドレル（４）を備え、前記センタリングマンドレルは、前記輸送フレーム（１９）を中央に配置するために、動作シリンダ（１１）によりマンドレルガイド（１０）から引き出されることが好ましい。]
[0044] 上記装置において、前記フレームクリップ（１７）は、クリーンルームに適した金属又はプラスチックから成るマウントと連結されたバネ鋼を含むことが好ましい。]
[0045] 上記装置において、コーティングされる前記ガラス板（１８）は、水平配置から垂直配置への前記ガラス板（１８）の汚染フリー移送に利用される移送装置により前記輸送フレーム（１９）へ設置され、前記移送装置は、ａ）ウルトラクリーンルームにおいて各々専用ドライブを有するローラと、ｂ）垂直に固定された吸引ヘッド支持支柱を有する移送フォークと、を備え、前記吸引ヘッド支持支柱は、その上面に吸気ヘッドを備え、前記移送フォークの全長に渡って配置され、前記ローラの隙間を通って上方へ通過しており、ｃ）前記吸引ヘッドは、吸気部を備え、ｄ）前記移送フォークは、垂直位置へ旋回可能である、ことが好ましい。]
[0046] 本発明は、衝撃に敏感なガラス板（１８）をスパッタシステムに供給するため、ウルトラクリーンルームにおいて前記ガラス板（１８）を固定及び輸送する方法であって、ａ）個々の前記ガラス板（１８）に適合する垂直に置かれた輸送フレーム（１９）のランナ（２１）を、前記輸送フレーム（１９）の上側が磁性レールマウント（２）でガイドされることにより、前記輸送フレーム（１９）を水平方向の中央に配置させるセンタリングユニットへ搬送するローラドライブ（１２）と、ｂ）前記磁性レールマウント（２）の底面まで前記輸送フレーム（１９）を持ち上げる２つのフレームリフトユニット（７）と、ｃ）前記輸送フレーム（１９）をその位置で固定する固定ユニット（５、８）と、を備え、開放ヘッド（３）は、前記輸送フレーム（１９）の固定後、前記輸送フレーム（１９）の長手方向側面及び上面領域においてフレームクリップ（１７）を開放し、ｄ）コーティングされる前記ガラス板（１８）は、輸送装置により水平配置で供給され、移送装置は、該ガラス板（１８）を持ち上げ、垂直配置とした後、前記輸送フレーム（１９）へ設置し、その後、前記開放ヘッド（３）は、前記フレームクリップ（１７）を閉じ、ｅ）前記固定ユニット（５、８）が前記輸送フレーム（１９）を解放した後、前記フレームリフトユニット（７）は前記輸送フレーム（１９）を下降させ、次いで、前記センタリングユニットは前記輸送フレーム（１９）を解放し、前記ローラドライブ（１２）は前記ガラス板（１８）が固定された前記輸送フレーム（１９）をスパッタ領域へと搬送する、ことを特徴とする。]
[0047] 上記方法において、コーティングされる前記ガラス板（１８）は、水平配置から垂直配置への前記ガラス板（１８）の汚染フリー移送に利用される移送装置により前記輸送フレーム（１９）へ設置され、前記移送装置において、ａ）ウルトラクリーンルームにおいて各々専用ドライブを有するローラにより供給された前記ガラス板は、移送ユニット領域で停止され、ｂ）前記ガラス板は、前記ガラス板の下方にあり、横に伸びた移送フォークの支柱上に垂直に固定された吸引ヘッド支持支柱の上面に設けられた吸引ヘッドにより保持され、前記吸引ヘッド支持支柱は、前記移送フォークの全長に渡って配置され、ローラとローラの隙間を通って上方へと通過し、ｃ）前記吸引ヘッドは、前記ガラス板の下面に向かって動き、前記吸引ヘッドの吸引部が吸着することにより前記ガラス板に連結され、ｄ）このようにして前記移送フォークに連結された前記ガラス板は、前記移送フォークにより垂直配置へと旋回され、ｅ）前記ガラス板の位置微調整の後、前記ガラス板は、設置装置（前記輸送フレーム（１９））に設置され、ｆ）前記吸引ヘッドは、前記ガラス板から外される、ことが好ましい。]
[0048] 上記方法は、プログラムがコンピュータにより実行される場合、プログラムコードを含むコンピュータプログラムにより遂行されることが好ましい。]
[0049] 上記方法は、プログラムがコンピュータにより実行される場合、コンピュータプログラムのプログラムコードを含む機械可読記憶媒体により遂行されることが好ましい。]
[0050] 本発明に係る装置は、以下で詳細に記述される。]
図面の簡単な説明

[0051] 本発明に係る装置を前面から見たときの斜視図。
上記装置の背面図。
上記装置の側面図。
上記装置を構成する輸送フレームの側面図。
上記装置を構成するセンタリングユニットのマンドレルガイドを示す図。
上記装置を構成する固定フレームのためのベアリング体を示す図。
図５のベアリング体の固定ヘッドを示す図。
図５の固定フレームのカウンタベアリングを示す図。
上記装置を構成するフレームクリップの固定機構を示す図。
上記装置を構成するリフト機構の斜視図。] 図５
実施例

[0052] 図１は、本発明に係る装置を前面から見たときの斜視図を表す。基本フレーム（１）は、その下方及び上方領域において交差ブレースにより連結された２つの側部から構成され、各側部は２つの平行で相互に連結された側面部から成る。この基本フレーム構造体の上方領域には、輸送フレーム（１９）に対する磁性レールマウント（２）が、２つの側部を連結するものとして備えられている。このフレーム構造体の下方領域には、更なる交差ブレースが配置されると共に、この交差ブレースは、とりわけ、フレーム輸送装置のローラ（６）の支持体としても働く。] 図１
[0053] 図２に示されるように、背面図では磁性レールマウント（２）が再び認められ、更なる構成要素（５、８）が合計８つ、輸送フレーム（１９）の両側に３つずつ、そして上側に２つ存在する。詳細については、次の図で明らかにする。] 図２
[0054] 図２は、本発明に係る装置の背面視を示す。ここでも図１と同様の構成要素が再び示されており、図例によれば、右側の固定フレームにある２つの開放ヘッド（３）及び２つの圧力シリンダ（８）が示されている。全体としては、図から読み取れるように、もう一つの圧力シリンダ（８）が右側に図示され、更に３つの圧力シリンダ（８）が左側に、そして別の２つの圧力シリンダ（８）が上側に図示されている。この図では、センタリングユニットの動作シリンダ（１１）が下方領域中央に認識され、そしてローラ（６）のドライブ（１２）が左側に認められる。] 図１ 図２
[0055] 図３は、本発明に係る装置の側面視を示す。更に、上側に磁性レール（２０）が連結され、そして下側にランナ（２１）が付加された輸送フレーム（１９）が、同一ページの図３ａに別途図示されている。これは、理解を簡単にするために、輸送フレーム（１９）が図３に図示されていないためである。しかし、図３ａに記された輸送フレーム（１９）及び図３から、どのように輸送フレーム（１９）が、磁性レール（２０）と共に磁性レールマウント（２）へマウントされているかが図３で明らかとなる。下方領域がＵ字型に形作られた磁性レール（２０）は、同じくＵ字型に形作られた磁性レールマウント（２）の中を移動する。このとき、輸送フレーム（１９）のランナ（２１）は、同様に図３に示されるローラ（６）の中を走行する。また、図３は、ローラ（６）領域において、ローラドライブ（１２）、ローラギア機構（２２）及びフレームリフトユニット（７）を示す。] 図３ 図３ａ
[0056] 本発明に係る装置の機能に関するより詳細な説明のため、輸送フレーム（１９）にガラス板（１８）を装着した場合の動作過程を以下に記述する。]
[0057] スパッタシステムで処理されるガラス板（１８）は、水平配置から垂直配置とされ、その後、そのような板の汚染フリー移送に利用される装置により輸送フレーム（１９）へ設置される。]
[0058] 一例として、まだ公開されていない本願出願人による独国特許公報１０２００７０５２１８２．２の装置が、この目的に適している。]
[0059] 前記文献は、水平配置から定められた垂直配置へ、特にガラス板（１８）のような薄くて衝撃に敏感な結晶性板を汚染フリーに移送する、以下の特性を備えた装置に関する。
ａ）ウルトラクリーンルーム内において、それぞれ専用ドライブを備えたローラを介して供給されたガラス板が、移送ユニット領域で停止される。
ｂ）そのガラス板が、ガラス板の下方にあり、横に伸びた移送フォークの支柱上に垂直に固定された吸引ヘッド支持支柱の上面に設けられた吸引ヘッドにより保持される。ここで、吸引ヘッド支持支柱は、移送フォークの全長に渡って配置され、ローラとローラの隙間を通って上方へと通過する。
ｃ）その吸引ヘッドがガラス板の下面に向かって動き、前記吸引ヘッドの吸引部が吸着によりガラス板に連結される。
ｄ）このようにして移送フォークに連結されたガラス板が、移送フォークにより垂直配置へと旋回される。
ｅ）ガラス板の位置微調整の後、ガラス板が設置装置（ここでは輸送フレーム）に設置される。
ｆ）吸引ヘッドがガラス板から外される。]
[0060] この場合、前記フレームを解放する操作の後、輸送フレーム（１９）は搬送装置として働く。]
[0061] この目的のため、ローラドライブ（１２）は、個々のガラス板（１８）に適した垂直に置かれた輸送フレーム（１９）のランナ（２１）を、最初は水平方向中央に輸送フレーム（１９）を配置させるセンタリングユニットへと搬送する。ここで、前記輸送フレームは、その上側において磁性レールマウント（２）によりガイドされている。]
[0062] センタリングユニットは、図４においてより詳細に記述される。] 図４
[0063] 図３及び図２にも図示されるセンタリングユニットの動作シリンダ（１１）は、センタリングユニットのマンドレルガイド（１０）からのセンタリングマンドレル（４）の引き出しを引き起こす。その動作の間に、センタリングマンドレル（４）は、輸送フレーム（１９）中の垂直に伸びたスロットと接触し、これにより、水平方向中央に輸送フレーム（１９）を配置し、そして更なる動作過程において、センタリングプレート（１３）を介した前記輸送フレームへの連結も確立する。] 図２ 図３
[0064] その後、２つのフレームリフトユニット（７）は、磁性レールマウント（２）中へ輸送フレーム（１９）を少し持ち上げる。フレームリフトユニット（７）は、図１及び図３の下方領域左側及び右側に図示されている。フレームリフトユニット（７）は、輸送フレーム（１９）のランナ（２１）に対して垂直方向に作用する。] 図１ 図３
[0065] 次いで、固定ユニット（５、８）が輸送フレーム（１９）を固定し、その後、輸送フレーム（１９）の長手方向側面領域において、開放ヘッド（３）がフレームクリップ（１７）を開放する。]
[0066] 固定ユニット（５、８）は、対合している固定フレームの圧力シリンダ（８）と固定フレームのカウンタシリンダ（５）とを含む。これらの固定ユニット（５、８）の数は、合計８つであって、輸送フレーム（１９）の両側に３つずつ、そして上側に２つ存在する。それらの機能は、図３において特に明確に認識することができ、図３では互いに反対向きに配置される圧力シリンダ（８）とカウンタシリンダ（５）とが図示され、示された３つの圧力シリンダ（８）のうち下の２つの圧力シリンダについて、固定ヘッド（１４）が示されている。] 図３
[0067] 図５は、圧力シリンダ（８）の詳細図である。圧力シリンダ（８）は、主に、ベアリング部（１６）、前記ベアリング部（１６）内を移動するピストンロッド（１５）、そして前記ピストンロッド（１５）の端部に固定された固定ヘッド（１４）から成る。圧力シリンダ（８）にとって大切なことは、ピストンロッド（１５）及びベアリング部（１６）の両方が、吸気抜き取り装置を備えているという特徴である。] 図５
[0068] 図６は、輸送フレーム（１９）上に押しつけられた固定ヘッド（１４）の圧接面の形態を示す。吸引器により吸い込まれた空気が輸送フレーム（１９）に付着し得る粒子を取り除き、ウルトラクリーンルームを清浄に保つのに貢献する手段が、ここで明確に認識され得る。] 図６
[0069] 図７は、固定フレームのカウンタシリンダ（５）を詳細に示す。カウンタシリンダ（５）は、その圧接面において、固定ヘッド（１４）と似た構造を持ち得、そして吸気抜き取り装置に接続され得る。] 図７
[0070] 図８は、輸送フレーム（１９）と挿入されたガラス板（１８）とに連結されたフレームクリップ（１７）の固定機構を示している。図１及び図３では、開放圧力シリンダ（９）及び開放ヘッド（３）の一部のみが示されている。図８の機能図は、開放ヘッド（３）の開放位置及び閉鎖位置が、どのようにフレームクリップ（１７）のスナップ動作機構に作用するのかを明らかにしている。開放圧力シリンダ（９）のピストンロッドが開放圧力シリンダ（９）から排出されると、開放ヘッド（３）がフレームクリップ（１７）のバネ鋼から成るベアリングのカウンタベアリング上に圧力を与え、その結果、フレームクリップは関節部において回転しなければならず、これがフレームクリップの上方への折れ曲がりを結果として引き起こす過程が、ここで明らかとなっている。同一ページ上に、フレームクリップ（１７）が２つの異なる視点から図示されている。] 図１ 図３ 図８
[0071] 図９は、輸送フレーム（１９）のランナ（２１）と連結されるフレームリフトユニット（７）を詳細に示す。] 図９
[0072] 輸送フレーム（１９）の最終固定及びフレームクリップ（１７）の開放に伴い、前記輸送フレームはガラス板（１８）を受け入れ可能となる。]
[0073] 動作を開始した移送装置は、順に、輸送装置により水平配置で供給されたコーティングされるガラス板（１８）を持ち上げて垂直配置とし、それを輸送フレーム（１９）に対して略平行とした後、輸送フレーム（１９）へ設置し、その後、開放ヘッド（３）がすべてのフレームクリップ（１７）を閉じる。]
[0074] これにより、中央に配置された輸送フレーム（１９）に対して、所定の正確な位置でガラス板（１８）を連結することができる。]
[0075] その後、固定ユニット（５、８）は、ガラス板（１８）が積み込まれた輸送フレーム（１９）を解放し、フレームリフトユニット（７）が輸送フレーム（１９）を下降させ、センタリングユニットが輸送フレーム（１９）を解放し、そしてローラドライブ（１２）がガラス板（１８）と共に輸送フレーム（１９）をスパッタリング領域へと移動させる。]
[0076] 上述された自動走行コンベヤ操作及び処理操作に必要とされるセンサ及びコンロトール部は、当業者にとって明らかであり、理解を簡単にするため図示されていない。]
[0077] 各々の場合で利用される動作部、コントロール部、そしてセンサの対話式制御は、特別なコントロールプログラムを必要とする。]
[0078] １基本フレーム
２磁性レールマウント
３開放ヘッド
４センタリングマンドレル
５固定フレームのカウンタシリンダ
６輸送フレーム装置のローラ
７フレームリフトユニット
８ 固定フレームの圧力シリンダ
９開放圧力シリンダ
１０センタリングユニットのマンドレルガイド
１１ センタリングユニットの動作シリンダ
１２ ローラのドライブ
１３センタリングプレート
１４ 固定フレームの固定ヘッド
１５吸気抜き取り装置を備えたピストンロッド
１６ 吸気抜き取り装置を備えたベアリング部（固定フレーム）
１７フレームクリップ
１８ガラス板
１９ 輸送フレーム
２０磁性レール
２１ 輸送フレームのランナ
２２ ローラギア機構]

权利要求:

請求項1
衝撃に敏感なガラス板（１８）をスパッタシステムに供給するため、ウルトラクリーンルームにおいて前記ガラス板（１８）を固定及び輸送する装置であって、ａ）第１に、個々の前記ガラス板（１８）に適合する垂直に置かれた輸送フレーム（１９）のランナ（２１）を、前記輸送フレーム（１９）の上側が磁性レールマウント（２）でガイドされることにより、前記輸送フレーム（１９）を水平方向の中央に配置させるセンタリングユニットへ搬送するために用いられ、第２に、前記ガラス板（１８）が固定された前記輸送フレーム（１９）をスパッタシステムへ搬送するために用いられる、ローラドライブ（１２）と、ｂ）前記輸送フレーム（１９）を前記磁性レールマウント（２）に持ち上げる及び下降させるために用いられるフレームリフトユニット（７）と、ｃ）前記輸送フレーム（１９）を固定及び解放するために用いられる固定ユニット（５、８）と、前記輸送フレーム（１９）の長手方向側面及び上面領域に設けられ、前記ガラス板（１８）を受け取るためにフレームクリップ（１７）を開閉する開放ヘッド（３）と、ｄ）個々の前記ガラス板（１８）をコーティングするために、前記ガラス板（１８）を持ち上げて旋回させる移送装置と、を備え、前記ガラス板（１８）は、輸送装置により水平配置で供給され、前記移送装置は、前記ガラス板（１８）を垂直配置とした後、該ガラス板（１８）を前記輸送フレーム（１９）に設置することを特徴とする装置。
請求項2
前記輸送フレーム（１９）は、アルミニウム合金から構成され、前記輸送フレーム（１９）の上方領域に取り付けられるガイドは、鉄合金から構成されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
請求項3
前記固定ユニット（５、８）は、それぞれカウンタシリンダ（５）及び圧力シリンダ（８）を備え、前記カウンタシリンダ（５）及び前記圧力シリンダ（８）は、各々吸気抜き取り手段を持ち得ることを特徴とする請求項２に記載の装置。
請求項4
前記磁性レールマウント（２）は、互いに逆向きに配置された２つの直線状の磁性体から構成され、前記輸送フレーム（１９）の上端が、それらの磁性体の間に両方の磁性体から反発された形で配置されることを特徴とする請求項３に記載の装置。
請求項5
前記センタリングユニットは、スロットにガイドされたセンタリングマンドレル（４）を備え、前記センタリングマンドレルは、前記輸送フレーム（１９）を中央に配置するために、動作シリンダ（１１）によりマンドレルガイド（１０）から引き出されることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の装置。
請求項6
前記フレームクリップ（１７）は、クリーンルームに適した金属又はプラスチックから成るマウントと連結されたバネ鋼を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の装置。
請求項7
コーティングされる前記ガラス板（１８）は、水平配置から垂直配置への前記ガラス板（１８）の汚染フリー移送に利用される移送装置により前記輸送フレーム（１９）へ設置され、前記移送装置は、ａ）ウルトラクリーンルームにおいて各々専用ドライブを有するローラと、ｂ）垂直に固定された吸引ヘッド支持支柱を有する移送フォークと、を備え、前記吸引ヘッド支持支柱は、その上面に吸気ヘッドを備え、前記移送フォークの全長に渡って配置され、前記ローラの隙間を通って上方へ通過しており、ｃ）前記吸引ヘッドは、吸気部を備え、ｄ）前記移送フォークは、垂直位置へ旋回可能である、ことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の装置。
請求項8
衝撃に敏感なガラス板（１８）をスパッタシステムに供給するため、ウルトラクリーンルームにおいて前記ガラス板（１８）を固定及び輸送する方法であって、ａ）個々の前記ガラス板（１８）に適合する垂直に置かれた輸送フレーム（１９）のランナ（２１）を、前記輸送フレーム（１９）の上側が磁性レールマウント（２）でガイドされることにより、前記輸送フレーム（１９）を水平方向の中央に配置させるセンタリングユニットへ搬送するローラドライブ（１２）と、ｂ）前記磁性レールマウント（２）の底面まで前記輸送フレーム（１９）を持ち上げる２つのフレームリフトユニット（７）と、ｃ）前記輸送フレーム（１９）をその位置で固定する固定ユニット（５、８）と、を備え、開放ヘッド（３）は、前記輸送フレーム（１９）の固定後、前記輸送フレーム（１９）の長手方向側面及び上面領域においてフレームクリップ（１７）を開放し、ｄ）コーティングされる前記ガラス板（１８）は、輸送装置により水平配置で供給され、移送装置は、該ガラス板（１８）を持ち上げ、垂直配置とした後、前記輸送フレーム（１９）へ設置し、その後、前記開放ヘッド（３）は、前記フレームクリップ（１７）を閉じ、ｅ）前記固定ユニット（５、８）が前記輸送フレーム（１９）を解放した後、前記フレームリフトユニット（７）は前記輸送フレーム（１９）を下降させ、次いで、前記センタリングユニットは前記輸送フレーム（１９）を解放し、前記ローラドライブ（１２）は前記ガラス板（１８）が固定された前記輸送フレーム（１９）をスパッタ領域へと搬送する、ことを特徴とする方法。
請求項9
コーティングされる前記ガラス板（１８）は、水平配置から垂直配置への前記ガラス板（１８）の汚染フリー移送に利用される移送装置により前記輸送フレーム（１９）へ設置され、前記移送装置において、ａ）ウルトラクリーンルームにおいて各々専用ドライブを有するローラにより供給された前記ガラス板が、移送ユニット領域で停止され、ｂ）前記ガラス板が、前記ガラス板の下方にあり、横に伸びた移送フォークの支柱上に垂直に固定された吸引ヘッド支持支柱の上面に設けられた吸引ヘッドにより保持され、前記吸引ヘッド支持支柱は、前記移送フォークの全長に渡って配置され、ローラとローラの隙間を通って上方へと通過し、ｃ）前記吸引ヘッドは、前記ガラス板の下面に向かって動き、前記吸引ヘッドの吸引部が吸着することにより前記ガラス板に連結され、ｄ）このようにして前記移送フォークに連結された前記ガラス板は、前記移送フォークにより垂直配置へと旋回され、ｅ）前記ガラス板の位置微調整の後、前記ガラス板は、設置装置（前記輸送フレーム（１９））に設置され、ｆ）前記吸引ヘッドは、前記ガラス板から外される、ことを特徴とする請求項８に記載の方法。
請求項10
プログラムがコンピュータにより実行される場合、プログラムコードを含むコンピュータプログラムにより遂行されることを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の方法。
請求項11
プログラムがコンピュータにより実行される場合、コンピュータプログラムのプログラムコードを含む機械可読記憶媒体により遂行されることを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の方法。